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超高真空閘閥是一種用于超高真空環(huán)境下的閥門，通常用于半導體、光電、化工等領域中的高工藝設備中。

真空閘閥的連接方式有多種，具體連接方式取決于真空系統(tǒng)的需求、管道設計以及真空閘閥的類型。下面是幾種常見的連接方式：

真空閘閥是一種通過控制真空氣壓來調節(jié)物質流動的設備，已廣泛應用于多種行業(yè)中。

真空閘閥的漏率是什么？簡單而言是指物質從閥內部流出到閥外的程度。

問：超高真空閘閥可連接法蘭類型是什么？答：超高真空閘閥可連接法蘭類型為CF，可分為手動與氣動兩種驅動方式。

問：超高真空閘閥對烘烤溫度有要求嗎？答：之前我們介紹過高真空、三位真空等不同類型的閘閥對烘烤溫度的要求，都應≤ 150 °C，而超高真空閘閥更加耐烘烤，溫度要求為≤ 200 °C。

真空閘閥?通常做為啟閉裝置使用，以潔凈空氣或無腐蝕性氣體為介質，常應用于大中型高真空與超高真空裝置的真空系統(tǒng)。

問：高真空閘閥可允許漏率是多少？答：不同型號、應用環(huán)境對真空閘閥的漏率要求會有所差別，高真空閘閥的可允許漏率應< 1×10-10 mbar ?/sec。

問：高真空閘閥對閘門上的壓差有要求嗎？答：高真空閘閥，閘門上的壓差與開口尺寸有關，開口尺寸在1.5? ~ 6?英寸之間，壓差應≤ 1400 mbar ，開口尺寸在8? ~14?英寸之間，壓差應≤1200 mbar。

閘閥在真空系統(tǒng)中的應用，首先要保證氣密性達到要求。通常真空閘閥漏氣越少，氣密性越好。