問：三位真空閘閥操作壓力范圍是多少？

答：三位真空閘閥操作壓力與開口尺寸有關，開口尺寸在2.5? ~ 6?英寸之間，操作壓力范圍為1×10^-10 mbar to 1400 mbar；開口尺寸在8? ~ 12?英寸之間，操作壓力范圍為1×10-¹⁰mbar to 1200 mbar。

三位真空閘閥

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